检测元素范围：3Li～92U；单色化Al射线源,最佳能量分辨率：0.43eV;能量分辨率为0.48eV时，灵敏度650kcps；能量分辨率为0.6eV时，灵敏度2500kcps；高能 Ag靶射线源：能量分辨率0.9eV时，灵敏度6kcps；能量扫描范围：0~3200eV； 离子刻蚀枪：具有单个Ar原子和团簇Ar双模式；紫外光电子能谱，能量分辨:120meV；灵敏度:≥1Mcps；离子散射谱，能量分辨和灵敏度：使用1keV的He+离子入射到清洁的Au表面上，Au峰的能量分辨率12eV时其灵敏度12kcps/nA；冷热台，加热温度范围：室温～800℃；致冷温度范围：室温～-100℃；高温原位催化反应池，温度和压力：可达1000℃@10bar，800℃@20bar，300℃@30bar。

1.XPS采谱、XPS价带谱
2.XPS成像
3.表面清洁/深度剖析
4.紫外光电子能谱（UPS）
5.离子散射谱（ISS）
6.角分辨光电子能谱（ARXPS）

仪器主机