1、纳米压痕最大载荷：10mN，载荷分辨率：1nN，最小接触力：70nN，热漂移：0.05nm/s；
2、纳米划痕最大横向载荷力：2mN，横向载荷分辨率：50nN；
3、纳米摩擦通过压电陶瓷连带三板电容传感器进行磨损测试，测试磨损面积范围：<1μm×1μm-75μm×75μm；
4、可以对多个样品进行连续不间断的3D原位扫描成像，原位扫描探针的位置控制精度：压痕±10nm的位置；
5、动态力学测试频率范围：0.1Hz-300Hz，最大动态振幅力：5mN，最大准静态力：10mN；
6、超高速力学特性测试：每秒钟12个压痕点；
7、温度操作范围：室温到800℃，加热速率：20℃/min，温度分辨率：0.1℃，控温精度：0.75%

设备可以在微纳米尺度上进行材料力学性能测试和表征，用于金属材料、聚合物材料、无机非金属材料、膜材料及复合材料等的纳米压/划痕等力学特性测试，获得相关条件下的硬度、模量、蠕变、屈服、粘结失效、断裂韧性、应力松弛、疲劳等性能。

纳米压痕模块、纳米划痕模块、纳米摩擦模块、SPM+原位扫描探针显微成像、纳米动态力学分析IV、XPM II快速压痕模块、800℃高温样品加热台、-120°C加热/冷却样品台