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主要规格及技术指标
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采用非接触式光学测量技术的多功能测头系统:同时具备共聚焦、白光干涉CSI、相位差干涉PSI、多焦面叠加四种三维测量技术,满足不同条件下测试需求。 |
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主要功能及特色
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主要用于关键金属零部件的微观三维形貌的测量,并提供粗糙度,曲率半径,结构高度等三维参数的评估。 |
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主要附件及配置
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DI 10X 干涉 10 倍镜头:数值孔径 0.3,工作距离 7.4mm;DI 50X 干涉 50 倍镜头:数值孔径 0.55,工作距离 3.4mm;DI 100X 干涉 100 倍镜头:数值孔径 0.7,工作距离 2mm。 |