(国产)聚焦离子束双束电镜FIB
仪器编号
规格
生产厂家
国仪量子
型号
国仪量子DB550
制造国家
中国
分类号
放置地点
郭可信材料表征中心 B123
出厂日期
2025-08-01
购置日期
2025-09-02
入网日期
2025-09-02
主要规格及技术指标

· 电子束分辨率:0.9 nm@15 kV(高电压模式),1.6 nm@1.0 kV(低电压模式)
· 离子束分辨率:3 nm@30 kV
· 加速电压范围:电子束 20 V~30 kV,离子束 500 V~30 kV
· 集成功能:纳米机械手、气体注入器、原位探针台、EDS、EBSD

主要功能及特色

1.高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒,高分辨率成像,兼容磁性样品。
2.“承影”离子镜简,高稳定、高质量的离子束流,用于高质量纳米加工和TEM制样。
3.样品仓内压电陶瓷驱动的机械手,集成式控制方式,操作精准到位。

主要附件及配置

暂无收费信息