1、二次电子分辨率： 0.9 nm @15 kV，1.3 nm @1 kV ；
2、背散射电子分辨率：1.2 nm @1 kV；
3、加速电压：20 V-30 kV

Sigma 360 高分辨场发射扫描电子显微镜采用Gemini光学系统设计，分辨率达到0.9nm。独特的镜筒设计可以帮助用户方便、安全的测试纳米磁性材料，环形Inlens探测器结合电子束加速器，有效提高低电压下图像的分辨率和信噪比。整体铸造的大尺寸腔室结构，可以满足不同领域的分析需求。

1、EDAX能谱仪及EBSD系统：①EDS探测器为SiN4新型SDD探测器窗口，有效活区面积≥70mm²；分析元素范围Be4-Am95；能量分辨率（Mn-Kα）优于127eV，低能端分辨率优异，Al Lα-Al Kα峰比率1:1；0-200kcps范围内分辨率稳定性＞90%
2、Femto-Tools原位纳米压痕：①可进行室温-800℃的拉伸、压缩、弯曲、疲劳、蠕变、应力松弛、动态机械测试（DMA）、连续刚度法纳米压痕、快速纳米压痕成像等测试；②可用于原位压缩、疲劳、动态力学分析、纳米压痕、快速CSM、原位高温力学等测试.